全自动晶圆激光开(kāi)槽(cáo)切割(gē)机

集成电(diàn)路(lù)晶圆、GPP二极(jí)管晶圆、可(kě)控硅晶圆(yuán)的(de)划线切割,40nm及以下线(xiàn)宽的low-k晶圆的表面开槽。适(shì)用于8inch、12inch晶圆

产品描述

产品(pǐn)特点:

1. 采用超短脉冲宽度(dù)加工(gōng),有效提(tí)高切割线品质开槽后,热影响区<2um

2. 采用(yòng)掩膜(mó)版和光栅的组合方(fāng)式(shì),得到开(kāi)槽(cáo)需(xū)要(yào)的光斑模式(shì);再整合多种激光微加工技术和工艺方案,达到开槽切割的(de)效(xiào)果

3. 采用高分辨率(lǜ)、品牌CCD镜头(tóu),实现(xiàn)高精度(dù),自动定位,对(duì)焦等功能,是和任意特征点采(cǎi)集

4. 自动上下料功能,无(wú)人值守全(quán)自动运行,批量化生产

 

产品应用领域:

应(yīng)用领(lǐng)域:集(jí)成电路晶圆、GPP二极管晶圆、可控硅晶圆的(de)划线切割(gē),40nm及以下线宽的low-k晶圆的表面(miàn)开槽。适用于8inch、12inch晶圆

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