全国统一服务(wù)热线:
产品描述
产品(pǐn)特点:
1. 采用超短脉冲宽度(dù)加工(gōng),有效提(tí)高切割线品质开槽后,热影响区<2um
2. 采用(yòng)掩膜(mó)版和光栅的组合方(fāng)式(shì),得到开(kāi)槽(cáo)需(xū)要(yào)的光斑模式(shì);再整合多种激光微加工技术和工艺方案,达到开槽切割的(de)效(xiào)果
3. 采用高分辨率(lǜ)、品牌CCD镜头(tóu),实现(xiàn)高精度(dù),自动定位,对(duì)焦等功能,是和任意特征点采(cǎi)集
4. 自动上下料功能,无(wú)人值守全(quán)自动运行,批量化生产
产品应用领域:
应(yīng)用领(lǐng)域:集(jí)成电路晶圆、GPP二极管晶圆、可控硅晶圆的(de)划线切割(gē),40nm及以下线宽的low-k晶圆的表面(miàn)开槽。适用于8inch、12inch晶圆
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