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产品描述
产(chǎn)品特点:
• 料盒上下(xià)料方式,取(qǔ)料,打标,放料(liào)回原位。
• 全自动上下(xià)料,视觉或(huò)者自动(dòng)寻边机构(gòu)定(dìng)位,加(jiā)工效率高。
• 设备(bèi)体积微(wēi)小,使用方便。
• 自带自(zì)动(dòng)检测料盒功能,自主计数 Mapping 功能,可双面打标。
• 晶圆机械手完成设备(bèi)内的晶圆片运转;JEL/ 首镭自(zì)主机(jī)械手(shǒu)。
产品应用领(lǐng)域:
全自动(dòng)晶圆激(jī)光(guāng)标刻机主要(yào)是对各种硅(guī)晶(jīng)圆、蓝(lán)宝石玻璃(lí)晶圆、SiC 晶圆(yuán)进行精密 ID 标记(jì);适用于(yú) 4inch,6inc,8inc 晶圆。
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