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产品描述
产品特点:
• 料盒(hé)上下料方式,取料,打标(biāo),放料回原位(wèi)。
• 全自动上下料,视觉或(huò)者(zhě)自动寻边机构定位,加工(gōng)效率高。
• 设备体(tǐ)积微(wēi)小,使用方(fāng)便。
• 自带自动(dòng)检(jiǎn)测料盒功能(néng),自主计数 Mapping 功能,可双面打标(biāo)。
• 晶圆(yuán)机械手(shǒu)完成(chéng)设(shè)备内的晶圆片运(yùn)转;JEL/ 首镭自主机械手(shǒu)。
产品应用领域:
全(quán)自动晶圆激(jī)光标刻机主要是对各种硅(guī)晶(jīng)圆、蓝(lán)宝石玻璃(lí)晶圆、SiC 晶圆进行精密 ID 标记;适用于 4inch,6inc,8inc 晶圆。
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