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全自动视觉AOl检查机

全自动（dòng）晶圆外观检查机主要是（shì）适用于晶圆外（wài）观缺陷的检（jiǎn）测设备，以提高（gāo）客户生产效率（lǜ）;适用于4inch，6inch，8inch晶圆。

产品描（miáo）述

产品特（tè）点：

• 检测同时支（zhī）持线宽测（cè）量及套刻测量三（sān）合一（yī）。
• 表（biǎo）面缺陷检测能力可达0.3um。
• 自动检测无需人工,单机缺陷检测模式。
• 灵活高（gāo）效多种方式的缺陷和自动缺陷分类。
• 单层图形和多层图形检测（cè）,及自定（dìng）义区域检测。
• 高（gāo）精度线宽量及（jí）套刻尺寸测量系（xì）统。
• 自动（dòng）脚（jiǎo）本（běn）编程（chéng）能力和自动化运行。
• 自带自（zì）动检测料盒功能,自带 Mapping功能,可（kě）双面检测。
• 晶（jīng）圆机械手完成设备（bèi）内的晶圆片运转;JEL/首镭自（zì）主机械手。

产（chǎn）品应用（yòng）领域：

全自动（dòng）晶（jīng）圆外观检查机主要是适用于晶圆外（wài）观缺陷的检（jiǎn）测设备，以（yǐ）提高客（kè）户生产效率;适用于4inch，6inch，8inch晶圆。

产品参数

激光类型配置	设备型号（hào）SL-WOV1020
适用晶圆	4寸.6寸.8寸（cùn）
线扫相机+激（jī）光测量仪	16K线扫相机（jī）+激光测量仪：幅宽6mm扫描间隔lum-10um;
相机（jī）镜头	镜（jìng）头WD:49mm FOV:360mm图像分辨率（lǜ）：2lum
线扫同（tóng）轴光源	发光区域340mm*40mm
线扫线（xiàn）光源	组合光源；线光源2组；发光（guāng）区域340mm*20mm
检测类型	外观（guān）不良；尺寸、厚度（dù）测量（liàng）
产品上下（xià）料方式	Open cassette;
产品传送（sòng）方式	日本（běn）JEL晶圆ROBOT+Mapping功能
晶圆载台	X.Y.Z.R载（zǎi）台：形成6.5mm;粗调（diào）360°、微调±5°、最小行程5um
晶（jīng）圆平移模组	行程350mm'重复精度（dù）±20um
软（ruǎn）件	首镭专用晶圆外观检查软件系统；
OCR读取	视觉（jiào）识别(可选配（pèi）)
FFU	双FFU;99.995%@0.3um;400-500cmh
系统对接	MES与EAP(具备TCP/IP;支持SECS-GEM通讯标（biāo）准)
设备尺寸	L:1700mmW:1350mmH:1900mm

全自动视觉AOl检查机

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